半導體設備是指光刻機、晶圓檢測設備等，這類設備的精度要求都非常高，對振動均非常敏感，通常需求主動減振器才能滿足要求，也有檢測類設備被動減振器即可滿足。這類設備的減振器是標配產品，減振器能抑制振對設備運行的影響，保證設備的穩(wěn)定性和納米精度要求。

半導體設備如何選擇減振器

在選擇減半導體減振器設備之前，首先要了解周邊的環(huán)境和設備的詳細參數(shù)。只有將這些因素整理清楚，才可以進行減振器的選型，當然對于安裝的時候才能夠更好的去做到細節(jié)上的安裝，設備減振器的使用帶動的是不斷的環(huán)境上的改善, 將所有的減震細節(jié)和環(huán)境進行相結合，給出的是更多的方案，對于工業(yè)生產中的安裝來說是非常的重要的。

三思THA系列主動減振器

產品特點：

· 輕巧便捷，安裝方便，無需氣源，電源接入，即插即用

· 手動調節(jié)水平，簡捷操作，節(jié)省成本
· 六自由度傳感器反饋信號到電機實施主動反向推力消除振動


· 可實時監(jiān)控

產品參數(shù)

半導體生產對于設備減振器的需求是很大的，因為基本上每一個半 導體的生產環(huán)節(jié)都是用到了設備減振器的，而好的設備減振方案和好的設備減振器是能夠帶動生產環(huán)境的良好發(fā)展，對于半導體行業(yè)的發(fā)展也是相當?shù)闹匾?

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